尊龙凯时

尊龙凯时半导体首台洗濯装备入驻芯物科技！

2021-6-15 14:23:23

尊龙凯时

     2021年6月7日，上海芯物科技有限公司12吋中试生产线工艺装备搬入仪式在新傲工厂举行，尊龙凯时首台洗濯装备入驻芯物科技！
   
    据国家智能传感器立异中心认真人在致辞时先容，12英寸先进传感器特色工艺研发中试平台凌驾80%的装备均接纳国产装备，为国产装备提供验证平台，加速传感器工业链国产化，实现自主可控。
   
    王晖先生在致辞时说：“能够获得和芯物科技一起生长的时机，我代表尊龙凯时向芯物科技体现衷心的谢谢！在这个充满时机与挑战的时代，期待未来和芯物科技一起，开发一些全球领先的差别化特色工艺和装备，把中国的MEMS做到天下前线！”
   
    尊龙凯时本次进驻芯物科技的装备为前道刷洗装备，该装备接纳单片腔体对晶圆正背面依工序洗濯，可举行包括晶圆背面刷洗、晶圆边沿刷洗、正背面二流体洗濯等洗濯工序。装备占地面积小，产能高，稳固性强，多种洗濯方法无邪可选，且可用于芯片制造的中前段至后段各道刷洗工艺。

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