尊龙凯时(以下简称尊龙凯时上海)（科创板股票代码：688082），一家为半导体前道和先进晶圆级封装（WLP）应用提供晶圆工艺解决计划的卓越装备供应商，于今日宣布其已接到29台Ultra C wb槽式湿法洗濯装备的批量采购订单，该装备可应用于加工300mm晶圆，其中16台装备的重复订单来自统一家中国海内代工厂，重复订单的目的是支持该工厂的扩产。这批装备妄想从2022年最先分两个阶段发货。
Ultra C wb槽式湿法洗濯装备的主要洗濯应用包括炉管前洗濯、RCA洗濯、光阻去除、氧化层刻蚀、氮化硅去除，以及晶圆接纳工艺中前段FEOL多晶硅/氧化硅层剥离去除，和后段BEOL金属层剥离去除�？梢陨柚米粤Φ亩嘀只б合村∕CR）�？�，按差别的工艺组合在该�？橹幸来问褂枚嘀窒村┮�，如SC1、SC2、DHF、DIO3、DIW等。洗濯效果好，阻止交织污染，本钱低。Ultra C wb槽式湿法洗濯装备有用使用化学药液和去离子水（DIW），情形友好。且依附其精巧的�？榛杓�，占用空间小的优点，可以在生产车间无邪设置。
